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Product Center當(dāng)前位置:首頁產(chǎn)品中心萬用表&功率計(jì)&測溫儀5.泰克6430泰克6430亞FA程控源表
泰克6430亞FA程控源表 適用于超高電阻/超低電流測量的 Keithley 靜電計(jì)適用于超高電阻/超低電流測量的 Keithley 靜電計(jì)從三個(gè)敏感選項(xiàng)中選擇,實(shí)現(xiàn)精確的高阻抗和低電流測量。5½ 位 6514 型和 6517B 型靜電計(jì)提供 1fA 靈敏度,輸入阻抗 >200TΩ 的電壓測量,以及低至 10fC 的電
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產(chǎn)品分類品牌 | 泰克 | 產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 |
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應(yīng)用領(lǐng)域 | 電子 |
泰克6430亞FA程控源表
6430亞fA程控源表集合了吉時(shí)利源表 和源測量單元(SMU)產(chǎn)品的電壓源和電流 源及測量功能,比靜電計(jì)靈敏度更高,噪 聲更低,輸入阻抗更高。這種*的性能 是通過6430遠(yuǎn)端前置放大器實(shí)現(xiàn)的,它提 供非常靈敏的雙向放大器,用于測量或產(chǎn) 生被測試器件的電流。遠(yuǎn)端前置放大器輸 出的高電平信號(hào)通過一條2米長的線纜發(fā) 送到控制主機(jī)上。這使得用戶可以直接, 或者近距離連接該信號(hào),減少線纜噪聲 的影響。
主要特點(diǎn):
6430按照靜電計(jì)無法達(dá)到的速度測量 電壓、電流與電阻。它可以每秒讀取多 2000源/測量讀數(shù),讀入內(nèi)部存儲(chǔ)器中。 可以測量快速小電流,100nA量程可響應(yīng) 短至5ms的信號(hào),較大量程可響應(yīng)幾百微 秒的信號(hào)。
6430的*特點(diǎn)包括其優(yōu)秀的低電 流靈敏度和遠(yuǎn)端前置放大器,這通過避 免長輸入線纜發(fā)揮了靈敏度的作用。遠(yuǎn) 端前置放大器是6430反饋測量系統(tǒng)的主 要部分,雖然通過長達(dá)2米,帶載高電平 信號(hào)的連接線纜它能離開主機(jī)一段距離 但是它不能獨(dú)立于測量主機(jī)工作。
應(yīng)用
6430的功能使其同樣適于在測試實(shí) 驗(yàn)室的研究工作和復(fù)雜元件的評(píng)估,結(jié) 合其它源測量儀器或SMU用于在較高電平 上進(jìn)行低電流、高電阻或高靈敏度的半 導(dǎo)體測量。6430的低噪聲和漂移性能也非 常適合高阻性納米線和其它高阻納米材 料的研究。
高速數(shù)據(jù)處理
6430能以超過2000個(gè)讀數(shù)/秒的速度 讀至其內(nèi)存緩沖器。IEEE-488總線輸出能 每秒發(fā)送達(dá)75個(gè)源/測量讀數(shù)至外部計(jì)算 機(jī)控制器,包括通過/失效指示。
6430能提供達(dá)2.2W的4象限源, 以及低至亞fA和微伏電平的測量 靈敏度。在高達(dá)20V,它能測量從 1pA量程(僅0.4fA峰峰值噪聲)至 100mA量程的電流??商峁?00mV至 200V的電壓范圍。電流和電壓量程 設(shè)置定義了源或阱電壓或電流的 大值。
典型應(yīng)用:
半導(dǎo)體測量
基于FET元件中的柵 極漏電或溝道漏電會(huì)在 MOSFET、FET、模擬開關(guān)和許 多其它電路中產(chǎn)生誤差。通 過允許研究人員測量極低電 平的電流和電壓,6430能幫 助他們了解這些元件的設(shè)計(jì) 局限以及研究替代器件的結(jié) 構(gòu)或材料。
測量FET的柵極漏電和溝道電
SET研究
6430具有的優(yōu)秀低電流測量能力(<0.4fA峰峰值)使其對(duì)于單電子晶體管 (SET)和量子點(diǎn)研究非常有用。使用類似于鎖定的技術(shù),6430能以1aA靈敏度測量 電流(10–18A=6電子/秒)。
測量行業(yè)的低噪聲和漂移
下圖的數(shù)據(jù)表明6430在5小時(shí)期間內(nèi)穩(wěn)定性非常突出,而且短期的低噪聲性能 優(yōu)秀。使用6430的AUTOFILTER以5秒上升時(shí)間在1pA量程上實(shí)現(xiàn)微弱信號(hào)采集。插 圖中的細(xì)節(jié)是濾波信號(hào)的截圖,顯示了6430型在開始的100秒期間的低噪聲性能 (僅200aA峰峰值)。在溫度變化約1°C的實(shí)驗(yàn)室環(huán)境下提取數(shù)據(jù),其中6430的IN/ OUT HI和SENSE引線接防護(hù)罩。
泰克6430亞FA程控源表
濃縮的測量指標(biāo)1
電壓測量準(zhǔn)確度(4線感測)3
溫度系數(shù)(0°C~18°C & 28°C~40°C):±(0.15×規(guī)定的準(zhǔn)確度)/°C。附加的測量指標(biāo)
附加的測量指標(biāo)
輸出建立時(shí)間(典型值為終值的10%):<2s,1pA和10pA量程;<50ms,100pA 至10nA量程;<5ms,100nA至100mA量程。
電流噪聲:在1分鐘間隔觀察時(shí),90%的間隔中峰峰值噪聲在400aA以內(nèi), 在使用Autofilter(5s 10% -90%的上升時(shí)間),使用三同軸連接器防護(hù) 罩,Autozero OFF、Source Delay=0,使用1pA量程至少3分鐘的條件下。
電流測量準(zhǔn)確度(2線或4線感測)4
溫度系數(shù)(0°C-18°C & 28°C-40°C):±[(0.15×規(guī)定的準(zhǔn)確度)+1fA]/°C。
輸入電流:<3fA@23°C,<40%相對(duì)濕度;通常為±0.5fA/°C在23°C左右,<40% 相對(duì)濕度。
電阻測量準(zhǔn)確度(4線感測帶遠(yuǎn)端前置放大器)
輸出電流模式,自動(dòng)電阻
溫度系數(shù)(0°C~18°C & 28°C~40°C):±(0.15×規(guī)定的準(zhǔn)確度)/°C。
輸出電流模式,手動(dòng)電阻:不確定度總和=電流輸出準(zhǔn)確度+電壓測量準(zhǔn)確度 (四線測量)。
輸出電壓模式:不確定度總和=電壓輸出準(zhǔn)確度+電流測量準(zhǔn)確度(四線測 量)。
6線電阻模式:可使用有源電阻防護(hù)和防護(hù)檢測(僅主機(jī)后面板)。防護(hù)輸出 電流大值:50mA。準(zhǔn)確度取決于負(fù)載。查閱手冊(cè)獲取計(jì)算公式。
主機(jī)防護(hù)輸出電阻:0.1Ω,電阻模式。
注解:
1.速度=10PLC,Autofilter ON,正確歸零和穩(wěn)定。
2.輸出電流模式,I=0。
3.電壓測量準(zhǔn)確度不受遠(yuǎn)端前置放大器的影響。
4.電流測量準(zhǔn)確度不受遠(yuǎn)端前置放大器影響;然而,1pA~100nA量程僅當(dāng) 使用前置放大器時(shí)可用。
5.四線模式。
6.僅手動(dòng)電阻模式。
7.激活源回讀,失調(diào)補(bǔ)償開。源時(shí)延必須設(shè)置為使源*穩(wěn)定才能讀數(shù)。
濃縮的系統(tǒng)速度
測量1
量程變化速度的大值:75/s。
單讀數(shù)工作模式的讀速度(讀數(shù)/秒),在60Hz(50Hz)條件下:
濃縮的源指標(biāo)4
電壓設(shè)置準(zhǔn)確度(4線感測)5
溫度系數(shù)(0°C~18°C & 28°C~40°C):±(0.15×規(guī)定的準(zhǔn)確度)/°C。
大輸出功率:2.2W(4象限源或阱工作)。
源/阱極限:±21V@±105mA,±210V@±10.5mA。
電壓調(diào)整率:線路調(diào)整率:量程的0.01%。負(fù)載調(diào)整率:量程的0.01%+100μV。
噪聲10Hz~1MHz(峰峰值):10mV。
過壓保護(hù):用戶可選擇,5%公差。工廠缺省為None。
電流鉗制:雙極性電流極限(容限)設(shè)為一個(gè)值。量程的0.1%(小值)。
電流設(shè)置準(zhǔn)確度(帶遠(yuǎn)端前置放大器)
溫度系數(shù)(0°C~18°C & 28°C~40°C):±(0.15×規(guī)定的準(zhǔn)確度)/°C。
大輸出功率:2.2W(4象限源或阱工作)。
源/阱極限:±10.5mA@±210V,±105mA@±21V。
電流調(diào)整率:線路調(diào)整率:量程的0.01%。負(fù)載調(diào)整率:量程的0.01%+1fA。
電壓極限:雙極性電壓極限(容限)設(shè)為一個(gè)值。量程的0.1%(小值)。
注解:
1.讀數(shù)速率可用于電壓或電流測量。關(guān)閉自穩(wěn)零,關(guān)閉自動(dòng)量程,關(guān) 閉濾波器,關(guān)閉顯示,觸發(fā)延時(shí)=0,源自動(dòng)清空,并且采用二進(jìn)制讀 數(shù)格式。
2.采用上限和數(shù)學(xué)下限進(jìn)行通過/失效測試。
3.包含測量之前重新設(shè)置源至新電平的時(shí)間。
4.對(duì)于阱模式,1pA~100mA量程,準(zhǔn)確度是±(0.15%+偏移*4)。
5.電壓源準(zhǔn)確度不受遠(yuǎn)端前置放大器的影響。
綜合說明
負(fù)載阻抗:穩(wěn)定至20000pF在100mA至100μA量程,470pF在10μA和1μA量 程,以及100pF在nA和pA量程。查閱用戶手冊(cè)獲取大電容性負(fù)載測量的 詳細(xì)說明。
共模電壓:±42VDC大值。
共模隔離:>109Ω,<1000pF。
過量程:量程的105%,源和測量。
輸入/輸出與測量端子之間的大壓降:5V。(為滿足規(guī)定的準(zhǔn)確度用4線測 量,請(qǐng)參閱用戶手冊(cè)。)
測試線電阻大值:10Ω,對(duì)于額定準(zhǔn)確度。
測試輸入電阻:1MΩ。
主機(jī)防護(hù)偏置電壓:300μV,典型值。
前置放大器防護(hù)偏置電壓:1mV典型值。
前置放大器防護(hù)輸出電阻:110kΩ。
源輸出模式:固定直流電平,內(nèi)存列表(混合功能),階梯波掃描(線性和 對(duì)數(shù))。
源內(nèi)存列表:100點(diǎn)(大值)。
內(nèi)存緩沖區(qū):5,000個(gè)讀數(shù)/秒@5位半(2個(gè)2,500點(diǎn)緩沖區(qū))。包括所選的測 量值和時(shí)間戳。鋰電池備份(電池壽命超過3年)。
數(shù)字接口:
安全互鎖:有源低電平輸入:
處理程序接口:測試開始,測試結(jié)束,3類比特。+5V@300mA電源。
數(shù)字I/O:1觸發(fā)輸入、4 TTL/繼電器驅(qū)動(dòng)輸出(33V@500mA阱、二極管鉗 位)。
可編程性:IEEE-488(SCPI-1995.0),RS-232,5種用戶定義的上電狀態(tài)加上 出廠缺省設(shè)置和*RST。
電源:100V~240V有效值,50Hz~60Hz(上電時(shí)自動(dòng)檢測),100VA大值。
EMC:符合歐盟指令89/336/EEC EN 55011,EN 50082-1,EN 61000-3-2和 61000-3-3,F(xiàn)CC第15部分Class B。
安全性:符合歐盟指令73/23/EEC EN 61010-1。
振動(dòng):MIL-PRF-28800F,Class 3。
預(yù)熱時(shí)間:1小時(shí)達(dá)到額定準(zhǔn)確度。
規(guī)格:89mm高×213mm寬×370mm深(3 1/2 in×8 3/8 in×14 9/16 in)。
測試臺(tái)尺寸配置(帶手柄和支腳):104mm高×238mm寬×370mm深(4 1/8 in×9 3/8 in×14 9/16 in)。
放大器:20mm高×57mm寬×97mm深(0.783 in×2.225 in×3.75 in)。
重量:5.9公斤(13磅)。
工作環(huán)境:工作條件:0°~40°C,60%相對(duì)濕度(不凝結(jié))至35°C。在 35°~40°C范圍內(nèi),相對(duì)濕度降低5%/°C。存儲(chǔ)條件:–25°C~65°C,不凝 結(jié)的濕度。