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泰克2657A大功率系統(tǒng)數(shù)字源表Keithley 2650 系列高功率 SourceMeter® SMU 儀器2650 系列大功率 SourceMeter SMU 儀器專為高電壓/電流電子產(chǎn)品和功率半導(dǎo)體元件(例如二極管、FET 和 IGBT、高亮度 LED、直流至直流轉(zhuǎn)換器、電池、太陽能電池及其他高功率材料、組件、模塊和部件)的檢定和測試而設(shè)計。 它們提供*的功率
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產(chǎn)品分類品牌 | 泰克 | 產(chǎn)地類別 | 進口 |
---|---|---|---|
應(yīng)用領(lǐng)域 | 電子 |
泰克2657A大功率系統(tǒng)數(shù)字源表
2657A是一種高電壓、高功率、低電流源測量單元(SMU),具有迄今為止zui高的功率、 精度、速度、靈活性和易用性,能夠大大提高研發(fā)、生產(chǎn)測試和可靠性環(huán)境的測試效 率。2657A是專門針對高壓電子和功率半導(dǎo)體器件的特征分析與測試而設(shè)計的,例如 二極管、FET和IGBT,以及其它一些需要高電壓、快速響應(yīng)和精確測量電壓和電流的元 件和材料。2657A是吉時利功率半導(dǎo)體特征分析和測試解決方案的2600A系列產(chǎn)品,具 有業(yè)界zui高的功率和*的低電流性能。這些用戶可配置的解決方案采用了業(yè)界zui強大的參數(shù)式特征分析軟件平臺,能夠隨著用戶應(yīng)用的發(fā)展進行升級。
2657A與其它2600A系列數(shù)字源表一樣,具有高度靈活的四象限電壓和電流源/負(fù)載, 并配置了精密電壓和電流計。它可以用作:
• 半導(dǎo)體特征分析儀
• 電壓或電流波形發(fā)生器
• 電壓或電流脈沖發(fā)生器
• 支持電壓和電流讀回的精密電源
• 真電流源
• 數(shù)字萬用表(DCV、DCI、歐姆 和六位半分辨率電源)
• 精密電子負(fù)載
2657A能夠提供或吸收高達(dá)3000V@20mA或1500V@120mA的電源
主要特性:
• 提供或吸收高達(dá)180W的直流或脈沖電 源(±3000V@20mA,±1500V@120mA)
• 1fA低電流分辨率
• 用于高精度和高速瞬態(tài)捕獲的雙22位 精度ADC和每點雙18位1μs數(shù)字轉(zhuǎn)換器
• 易于與其它2600A數(shù)字源表進行系統(tǒng)集 成的全TSP®兼容能力
• 單臺儀器內(nèi)集成了精密電源、電流 源、DMM、任意波形發(fā)生器、電壓或電 流脈沖發(fā)生器、電子18位負(fù)載和觸發(fā) 控制器
• 內(nèi)含TSP® Express特征分析軟 件、LabVIEW ®驅(qū)動和吉時利的Test Script Builder軟件開發(fā)環(huán)
典型應(yīng)用:
• 功率半導(dǎo)體器件特征分析與測試
• GaN、SiC和其它一些復(fù)合材料與器件 的特征分析
• 高達(dá)3kV的擊穿與漏流測試
• 亞毫秒瞬態(tài)特征分析
兩種測量模式:數(shù)字式或積分式 利用2657A的兩種測量模式,可以對器件的瞬態(tài)和穩(wěn)態(tài)特性進行精確的特征分析,包括快 速改變熱效應(yīng)。每種模式是由其獨立的模數(shù)(A/D)轉(zhuǎn)換器決定的。
數(shù)字式測量模式能夠?qū)崿F(xiàn)高達(dá)1μs的采樣速度。利用其雙18位數(shù)字轉(zhuǎn)換器能夠同時捕獲 電壓和電流瞬態(tài)。在積分式測量模式下,利用其雙22位積分式模數(shù)轉(zhuǎn)換器能夠?qū)崿F(xiàn)更精確的電壓與電流測量。每種測量模式都使用兩個A/D轉(zhuǎn)換器,一個用于電流,另一個用于 電壓,兩個轉(zhuǎn)換器同時工作可以實現(xiàn)精確的電源讀回,且不影響測試產(chǎn)能。
雙高速A/D轉(zhuǎn)換器能夠?qū)崿F(xiàn)快每點1μs的采樣速度,支持電壓和電流的全同時特征分析。
擴展功能
通過TSP-Link®技術(shù),2657A能夠與其它2600A系列儀器連接在一起,構(gòu)成更大的具有zui高 32個節(jié)點的集成式系統(tǒng)。內(nèi)置的500ns觸發(fā)控制器能夠確保精確定時與緊密通道同步功 能。利用*隔離且獨立的數(shù)字源表通道可以進行真正的每pin腳SMU測試。
高功率器件測試夾具
8010高功率器件測試夾具能夠為高達(dá)3000V或100A下帶封裝的高功率器件的測試提供安全和 方便的連接。8010提供的連接支持一個高壓數(shù)字源表(2657A)、一個或兩個高電流數(shù)字源表 (2651A)、三個低功率數(shù)字源表(其它2600A系列或4200-SCS SMU)。利用這一功能,就可以 安全而準(zhǔn)確地對雙端(二極管)、三端(晶體管)甚至四端或五端器件進行特征分析。8010具 有全互鎖功能多可支持六臺數(shù)字源表。8010集成了保護電路,能夠保護低壓數(shù)字源表免受 2657A輸出高壓造成的器件故障。8010內(nèi)含高電流(100A)和高電壓(3000V)測試測試接口。還 有可選的各種備用測試接口,包括TO-247、TO-220、軸心線,以及可以構(gòu)建自定義接口的一個 空接口模塊。除了標(biāo)準(zhǔn)的香蕉跳線,8010還具有背板指示器和熱探針端口,可簡化系統(tǒng)集成。
2600A系列儀器的標(biāo)準(zhǔn)功能
2每臺2657A都具有其它2600A系列數(shù)字源 表所具有的特性和功能:
• 使用靈活,可用作臺式I-V特征 分析工具,也可以作為多通道I-V 測試系統(tǒng)的組成模塊;
• TSP Express軟件,無需編程或安 裝其它軟件即可快速而方便地執(zhí) 行常用的I-V測試。
• 用于半導(dǎo)體元件特征分析的ACS Basic Edition軟件(可選)。ACS Basic Edition現(xiàn)在提供了“Trace” 模式,可產(chǎn)生一套特征曲線。
• 吉時利的Test Script Processor (TSP)技術(shù)支持創(chuàng)建并運行自定義 的用戶測試腳本,用于實現(xiàn)高速自 動化測試,以及創(chuàng)建使測試儀能夠 在沒有PC直接控制的情況下進行 異步操作的程序序列。
• 當(dāng)系統(tǒng)中多臺2600A系列儀器 連接在一起時,具有并行測試 執(zhí)行和精確定時功能。 • 兼容LXI Class C。
• 14位數(shù)字I/O線,用于直接連接探針 臺、元件機械手或其它自動化工具。
• USB端口,用于通過USB存儲器保存額 外的數(shù)據(jù)和測試程序。
泰克2657A大功率系統(tǒng)數(shù)字源表
2657A主要技術(shù)指標(biāo)1
源 | 測量 | ||||
量程 | 編程分辨率 | 精度 | 顯示分辨率 | 積分ADC精度2 ±(% rdg + V) | 高速ADC精度3 ±(% rdg + V) |
200 V | 5 mV | 0.03% + 50 mV | 100 μV | 0.025% + 50 mV | 0.05% + 100 mV |
500 V | 10 mV | 0.03% + 125 mV | 100 μV | 0.025% + 100 mV | 0.05% + 200 mV |
1500 V | 40 mV | 0.03% + 375 mV | 1 mV | 0.025% + 300 mV | 0.05% + 600 mV |
3000 V | 80 mV | 0.03% + 750 mV | 1 mV | 0.025% + 600 mV | 0.05% + 1.2 V |
電流精度指標(biāo)4
源 | 測量 | ||||
量程 | 編程分辨率 | 精度 | 顯示分辨率 | 積分ADC精度2 ±(% rdg + A) | 高速ADC精度 3 ±(% rdg + A) |
1 nA | 30 fA | 0.1% + 2E–12 + VoE–15 | 1 fA | 0.1% + 6E–13 + VoE–15 | 0.2% + 6E–13 + VoE–15 |
10 nA | 300 fA | 0.1% + 5E–12 + VoE–15 | 10 fA | 0.1% + 5E–12 + VoE–15 | 0.2% + 5E–12 + VoE–15 |
100 nA | 3 pA | 0.1% + 6E–11 + VoE–13 | 100 fA | 0.1% + 6E–11 + VoE–13 | 0.2%+ 6E–11 + VoE–13 |
1 μA | 30 pA | 0.03% + 700 pA | 1 pA | 0.025% + 400 pA | 0.08% + 800 nA |
10 μA | 300 pA | 0.03% + 5 nA | 10 pA | 0.025% + 1.5 nA | 0.08% + 3 nA |
100 μA | 3 nA | 0.03% + 60 nA | 100 pA | 0.02 % + 25 nA | 0.05% + 50 nA |
1 mA | 30 nA | 0.03% + 300 nA | 1 nA | 0.02 % + 200 nA | 0.05%+ 400 nA |
2 mA | 60 nA | 0.03% + 1.2 μA | 1 nA | 0.02 % + 500 nA | 0.05% + 1 μA |
20 mA | 600 nA | 0.03% + 12 μA | 10 nA | 0.02 % + 5 μA | 0.05%+ 10 μA |
120 mA | 3 μA | 0.03% + 36 μA | 100 nA | 0.02 % + 24 μA | 0.05%+ 50 μA |
1.對于0°到18°C以及28°到50°C的溫度,精度下降 ±(0.15 × 精度指標(biāo)) °C。
2. 對于NPLC設(shè)置<1因增加了誤差項而降低了精度指標(biāo)。對于阻性負(fù)載使用下表適當(dāng)增加量程項的百分比。
NPLC 設(shè)置 | 200V和500V | 1500V和3000V | 100nA | 1μA到120mA |
0.1 | 0.01% | 0.01% | 0.01% | 0.01% |
0.01 | 0.08% | 0.07% | 0.1 % | 0.05% |
0.001 | 0.8 % | 0.6 % | 1 % | 0.5 % |
3.18位ADC。間隔1μs的1000個樣本均值。
4.對于0°到18°C以及28°到50°C的溫度,精度下降 ±(0.35 × 精度指標(biāo)) °C
其它特性
典型電壓源噪聲:量程的0.005%。
典型電流源噪聲:量程的0.08%。
典型電壓源設(shè)置:<1ms到200V,<7ms到3000V。
典型電流源設(shè)置:<5ms到120MA,<200ms到1µA。
相關(guān)指標(biāo)如有改變恕不另行通知。
觸發(fā)與同步指標(biāo)
觸發(fā):TRIGGER IN到TRIGGER OUT:0.5µs,典型值。
同步:單節(jié)點或多節(jié)點同步源變化:<0.5μs,典型值。
編程
TEST SCRIPT BUILDER: 用于編輯、運行和管理TSP腳本的集成式開發(fā)環(huán)境。
TSP EXPRESS (內(nèi)嵌的):無需編程或安裝其它軟件即可使用戶快速而方便地執(zhí)行常見I-V測試的工具。
軟件接口:TSP EXPRESS(內(nèi)嵌的)、DIRECT GPIB/VISA、支持VB的讀/寫、VC/C++、 VC#、LABVIEW、TESTPOINT、LABWINDOWS/CVI等。
系統(tǒng)擴展
支持TSP功能的儀器通過TSP-Link擴展接口可以相互觸發(fā)和通信。如下圖所示:
2657A能夠提供或吸收高達(dá)3000V@20mA或1500V@120mA的電源
一般性指標(biāo)
USB:USB 2.1主控制器,支持外部數(shù)據(jù)存儲。
接觸檢查:± 50Ω
PC接口:IEEE-488.1和.2;LXI CLASS C以太網(wǎng);RS-232。
數(shù)字I/O接口:輸入/輸出腳:14個漏極開路I/O位。大5.25V。
電源:100V到250V交流,50HZ–60HZ(自動檢測),大功率550VA。
冷卻:強迫風(fēng)冷。側(cè)面和頂部吸氣,后部排氣。
EMC:符合歐盟EMC指令。
安全性:ETL列出(待確認(rèn))。符合歐盟低壓指令。
質(zhì)保期:1年。
尺寸:高89mm × 寬435mm × 深549mm(3.5in × 17.1in × 21.6in)。測試臺配置(帶手柄和腿):高104mm × 寬483mm × 深620mm(4.1in × 19in × 24.4in)。
重量:9.98KG(22lbs)。
使用環(huán)境:僅適合室內(nèi)使用。
校準(zhǔn)周期:一年。